Контейнер для отжига и активации ионно-легированных слоёв карбидкремниевых пластин

179406

F27D5/00

Заявка: 2017112123, 10.4.2017

Опубликовано: 14.5.2018. Бюл. № 14

Авторы: А.А. Малаханов, М.Ю. Некрасова, А.Н. Школин, Н.А. Брюхно, М.В. Степанов, Ю.И. Фокин

Патентообладатель: ФГБОУВО "Брянский государственный технический университет"

КОНТЕЙНЕР ДЛЯ ОТЖИГА И АКТИВАЦИИ ИОННО-ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЁВ КАРБИДКРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Формула полезной модели

Контейнер для отжига и активации ионно-легированных карбидкремниевых пластин, содержащий корпус с основанием, выполненный в виде цилиндра, стенка которого состоит из двух полуцилиндров с выполненными в них прорезями, ширина которых не менее ширины устанавливаемых в них упомянутых пластин, и крышку в виде круглой шайбы, выступающую за габариты цилиндра, отличающийся тем, что он выполнен из графита и состоит из базового и прикладного полуцилиндров, в стенках которых просверлены радиальные отверстия для откачки воздуха из контейнера, причем верхние края стенок прорезей, выполненных в стенке прикладного полуцилиндра, имеют ребра со скосами, а в стенке базового полуцилиндра для центрирования упомянутых пластин установлены упоры, при этом толщина h_стстенки контейнера составляет h_ст>1,5⋅10^-3 м, а диаметр d_отв радиальных отверстий - d_отв ≤ h_ст.