154339
H01L25/00, H01L23/482, H01L23/50, H05K1/14
Заявка: 2014148449/07, 1.12.2014
Опубликовано: 20.8.2015. Бюл. № 23
Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, В.В. Огнев, Ю.Н. Севастьянов, В.В. Стрекалова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кремниевая коммутационная плата
КРЕМНИЕВАЯ КОММУТАЦИОННАЯ ПЛАТА
Формула полезной модели
Кремниевая коммутационная плата, состоящая из кремниевой подложки, слоев диэлектриков и слоев металлической разводки с межсоединениями и контактными площадками для монтажа микросхем методом перевернутого кристалла, отличающаяся тем, что контактные площадки выполнены во впадинах кремниевой коммутационной платы глубиной 15-25 мкм, а в качестве верхнего слоя диэлектрика используют нитрид кремния.
