156298
H01L23/48
Заявка: 2014152558/28, 24.12.2014
Опубликовано: 10.11.2015. Бюл. № 31
Авторы: Н.А. Брюхно, О.А. Жилина, Д.А. Калянов, Н.Г. Котелевский, В.В. Стрекалова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Полупроводниковый прибор
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
Формула полезной модели
Полупроводниковый прибор, содержащий подложку с рабочей структурой, прямоугольными рельефными контактными площадками из металлического покрытия на поверхности подложки и проволочными электрическими выводами, приваренными к контактным площадкам, отличающийся тем, что рельефная поверхность контактных площадок выполнена в виде гофра и расположена внутри ромба, вершины которого находятся на осях, проходящих через середины сторон контактных площадок, а выступы гофрированной поверхности расположены в узлах сетки, причем размер выступа а выбирают из соотношения r
а d, а шаг сетки Н выбирают из соотношения
, где r - разрешающая способность фотолитографии при формировании выступов гофрированной поверхности, d - толщина металлического покрытия.
