166142
H01L21/66
Заявка: 201626901/28, 4.7.2016
Опубликовано: 20.11.2016. Бюл. № 32
Авторы: Н.А. Брюхно, О.М. Головко, И.С. Симукова, В.В. Стрекалова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Тестовый элемент для контроля качества планаризации
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛАНАРИЗАЦИИ
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оперативного контроля качества планаризации, содержащий полупроводниковую пластину, сформированный на ней рельеф из проводящих шин, состоящий из ряда выступов минимального по ширине размера, расположенных с минимальным зазором, и планаризующий слой изолирующего диэлектрика, отличающийся тем, что в тестовом элементе дополнительно сформирован ряд выступов минимального по ширине размера с увеличенным зазором и ряд увеличенных по ширине выступов с минимальным зазором, причем увеличение ширины выступов и увеличение ширины зазора К выбирают из формулы: 10а≤К≤15а, где а - минимальная ширина выступа или соответственно минимальная ширина зазора.
