198664
H01G2/00
Заявка: 2020114107, 3.4.2020
Опубликовано: 21.7.2020. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова
Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЗАПОЛНЕНИЯ ПОЛИКРЕМНИЕМ КОЛОДЦЕВ КРЕМНИЕВЫХ КОНДЕНСАТОРОВ
Формула полезной модели
Тестовый элемент для контроля качества заполнения поликремнием колодцев кремниевых конденсаторов, содержащий полупроводниковую пластину, сформированный на ней рельеф из вытравленных колодцев, поверхность которых покрыта слоем диэлектрика, заполненных поликремнием, отличающийся тем, что тестовые колодцы выполнены в форме канавок, расположенных в двух взаимно перпендикулярных направлениях, причем ширину канавок А берут равной диаметру колодца рабочего кремниевого конденсатора, а длину канавок D выбирают из формулы: 4H/tgα≥D≥2H/tgα, где Н - наибольшая глубина канавок, α - угол шлифования тестового элемента.
