145242
H01L21/00
Заявка: 2014121556/28, 27.5.2014
Опубликовано: 10.9.2014. Бюл. № 25
Авторы: В.В. Афанаскин, Н.А. Афанаскин, М.С. Воронцов, В.И. Громов, Ю.Н. Севастьянов, М.М. Степанова, С.П. Сулаков, Е.А. Чирков
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Чувствительный элемент датчика с нагревателем
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА С НАГРЕВАТЕЛЕМ
Формула полезной модели
Чувствительный элемент датчика c нагревателем, состоящий из кремниевого кристалла с мембраной, на которой сформированы нагреватели и термочувствительные элементы, а также элементы, снижающие потери тепла от нагревателя, отличающийся тем, что элементы, снижающие потери тепла, выполнены в виде канавок вокруг мембраны, причем глубину канавки h выбирают из следующего соотношения 0,9d h d, где d - толщина мембраны.
