159102
H01L21/00
Заявка: 2015137311/28, 1.9.2015
Опубликовано: 27.1.2016. Бюл. № 3
Авторы: Н.А. Брюхно, А.Ю. Фроликова, Е.А. Чирков
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Фотошаблон для определения выхода медленно травящихся кристаллографических плоскостей на кремнии
ФОТОШАБЛОН ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЫХОДА МЕДЛЕННО ТРАВЯЩИХСЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИХ ПЛОСКОСТЕЙ НА КРЕМНИИ
Формула полезной модели
Фотошаблон для определения выхода медленно травящихся кристаллографических плоскостей на кремнии, состоящий из реперной фигуры и семейства гантелеобразных фигур, длинная ось симметрии которых направлена на центр реперной фигуры и которые расположены по краю пластины в районе предполагаемого выхода медленно травящихся кристаллографических плоскостей, отличающийся тем, что гантелеобразные фигуры разделены пополам вдоль короткой оси симметрии участком маски шириной А, причем 3В ≤ А ≤ 5В, где В - боковой подтрав маски при травлении точно сориентированных с маской медленно травящихся кристаллографических плоскостей.
