Изобретение 2324773

2324773
C30B15/30
Заявка: 2006114664/15, 28.04.2006
Опубликовано: 20.05.2008 Бюл. № 14
Авторы: А.И. Кольцов, В.С. Пыриков
Патентообладатель: Открытое акционерное общество Научно-исследовательский институт «Изотерм»,
Открытое акционерное общество «Подольский химико-металлургический завод»

ПРИВОД ВРАЩЕНИЯ И ПЕРЕДВИЖЕНИЯ РАСТУЩЕГО МОНОКРИСТАЛЛА В УСТАНОВКАХ ДЛЯ ЕГО ВЫРАЩИВАНИЯ
Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского. Привод вращения и передвижения растущего монокристалла в установках для его выращивания содержит расположенную в корпусе карусель, приводимую в движение через зубчатые колеса и трансмиссионной вал двигателем вращения монокристалла, а также установленный внутри карусели барабан, приводимый во вращение двигателем передвижения монокристалла, который установлен на неподвижном корпусе с возможностью передачи вращения барабану через встроенный в корпусе дифференциал. Таким образом, реализовано применение бесколлекторного привода за счет встроенного дифференциального механизма, который позволяет передавать вращение от стационарно установленного двигателя к барабану с тросом, вращающегося вместе с каруселью вокруг вертикальной оси, при этом скорость подъема или опускания монокристалла не зависит от скорости вращения карусели и регулируется только задаваемой скоростью вращения двигателя передвижения монокристалла. Изобретение повышает надежность работы привода за счет возможности применения современных серводвигателей, обеспечивающих высокоточное программированное передвижение и вращение монокристалла, а также позволяет уменьшить вертикальные габариты привода из-за установки двигателя передвижения монокристалла на корпусе привода и отсутствия коллектора со щетками, что способствует снижению динамической разбалансировки. 1 ил.