237014
H01L21/263
Заявка: 2025104388, 24.2.2025
Опубликовано: 4.9.2025. Бюл. № 25
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Герасимов, М.В. Кильчицкая, Е.В. Мироненко, П.В. Хотемской
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для облучения полупроводниковых кристаллов
Формула полезной модели
Кассета для облучения полупроводниковых кристаллов, состоящая из сплошной металлической пластины - основания с ячейками в форме параллелепипеда для кристаллов и металлической крышки, закрывающей основание, отличающаяся тем, что металлическая крышка выполнена из двух элементов, а именно тонкой крышки из алюминия толщиной 0,2-0,4 мм, покрывающей всю рабочую поверхность основания, и жесткой крышки толщиной 1-1,5 мм, не перекрывающей ячейки с кристаллами.
