159088
C23F1/08
Заявка: 2015141725/02, 30.9.2015
Опубликовано: 27.1.2016. Бюл. № 3
Авторы: Н.А. Брюхно, В.Н. Ловяго, П.В. Панченко
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин
КАССЕТА ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН
Формула полезной модели
Кассета для односторонней обработки травлением полупроводниковых пластин с мультиплицированным слоем, состоящая из основания с полостью, источника освещения, гибких герметизирующих колец, крышки с отверстием под рабочую поверхность обрабатываемой пластины, отличающаяся тем, что источник освещения расположен со стороны крышки над рабочей поверхностью пластины, а в полости основания расположен датчик освещенности соосно с источником освещения и центром области травления пластины.
