173643
H01L21/306
Заявка: 2017107359, 6.3.2017
Опубликовано: 4.9.2017. Бюл. № 25
Авторы: Е.В. Абашин, Н.А. Брюхно, О.А. Жилина, М.Ю. Котова, М.В. Степанов, А.А. Малаханов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин
Формула полезной модели
Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин, состоящая из основания с полостью, трубки, выравнивающей давление, системы гибких герметизирующих колец, крышки с отверстием для обработки рабочей поверхности пластины, пластины-ограничителя прогиба, отличающаяся тем, что на трубке, выравнивающей давление, содержится вакуумно-плотный вентиль.
