162219
H01L21/306
Заявка: 2015141724/28, 30.9.2015
Опубликовано: 27.5.2016. Бюл. № 15
Авторы: Е.В. Абашин, Н.А. Брюхно, И.С. Симукова, М.В. Степанов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин
КАССЕТА ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН
Формула полезной модели
Кассета с полостью для односторонней обработки пластин, состоящая из корпуса основания, трубки для выравнивания давления в корпусе, крышки с рабочим отверстием, соединенной винтами с корпусом через две соосные уплотнительные прокладки одного диаметра и одной прокладки, большей, чем размер пластины, отличающаяся тем, что в корпусе дополнительно проведена вторая трубка для подачи газа под давлением того же сечения, что и трубка, выравнивающая давление.
