147302
H01L21/00
Заявка: 2014123737/28, 10.6.2014
Опубликовано: 10.11.2014. Бюл. № 31
Авторы: Н.А. Брюхно, И.О. Гордиевич, М.В. Степанов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для высокочастотного отжига и активации ионно-легированных слоев в карбидкремниевых пластинах
КАССЕТА ДЛЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ОТЖИГА И АКТИВАЦИИ ИОННО-ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ В КАРБИДКРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ
Формула полезной модели
Кассета для высокочастотного отжига и активации ионно-легированных слоев в карбидкремниевых пластинах, состоящая из графитового цилиндрического основания с полостью под пластину и отверстия в основании, соединяющая объем печи, в которой производят отжиг, и полость в основании под пластину, отверстия выполнены в цилиндрической поверхности основания в виде пропилов, расположенных попарно по осям симметрии шириной 1-3 мм и глубиной до рабочей зоны пластины.
