Формула полезной модели
Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией, состоящая из соединенных плоскопараллельных кремниевых окисленных рабочей пластины и подложки, разделительных «тренч»-канавок для формирования карманов в виде многоугольников, сформированных из прямоугольников, вытравленного анизотропным реактивным травлением слоя оксида кремния, слоя поликремния, заполняющего объем разделительных «тренч»-канавок, осажденного при пониженном давлении, отличающаяся тем, что углы прямоугольников, образующих многоугольники, скруглены с внутренним радиусом 2D≤R1≤4D, где D - ширина разделительных «тренч»-канавок, а участки рабочей пластины, оставшиеся от скругления, заполнены монокристаллическим кремнием, в местах крестообразного пересечения разделительных «тренч»-канавок расположены компенсаторы в виде четырехугольников, стороны которых сформированы внешним радиусом R2=R1+D, а вершины расположены по линии середины разделительных «тренч»-канавок, в местах Т-образного пересечения разделительных «тренч»-канавок внешний радиус R2 формирует компенсатор, вершина которого расположена по линии середины вертикальных разделительных «тренч»-канавок, а в местах Г-образного пересечения разделительных «тренч»-канавок компенсаторов нет, внутренний радиус 2D≤R1≤4D, а внешний радиус R2=R1+D.
