Формула полезной модели
Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией, состоящая из выполненных в подложке из поликристаллического кремния отдельных карманов из монокристаллического кремния заданной толщины, изолированных от подложки из поликристаллического кремния, меток контроля толщины карманов из монокристаллического кремния и окон к подложке из поликристаллического кремния для электрического контакта, отличающаяся тем, что окна к подложке из поликристаллического кремния для электрического контакта выполнены к метке контроля толщины карманов наибольшей глубины, которая находится внутри изолированного от подложки из поликристаллического кремния кармана из монокристаллического кремния.
