Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией

165467

H01L21/76

Заявка: 2016121263/28, 30.5.2016

Опубликовано: 20.10.2016. Бюл. № 29

Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, В.В. Огнев, А.Ю. Фроликова

Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией

КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ

Формула полезной модели

Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией, состоящая из кремниевых «карманов», окруженных слоем оксида кремния и поликремния, плоскопараллельной шлифованной кремниевой подложки, присоединенной к поликремнию слоем стеклянной фритты, отличающаяся тем, что внешняя сторона кремниевой подложки обработана до шероховатости не более чем R_z=0,12 мкм.