221539
H01L27/04, H01L27/10
Заявка: 2023120624, 4.8.2023
Опубликовано: 10.11.2023. Бюл. № 31
Авторы: Н.А. Брюхно, М.В. Кильчицкая, И.В. Куфтов
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ
Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией, состоящая из соединенных плоскопараллельных окисленной рабочей пластины со скрытым слоем и подложки, окисленных разделительных вертикальных канавок, вытравленных анизотропным реактивным травлением для формирования изолированных карманов, и экранирующего электрода, отличающаяся тем, что каждый карман имеет собственную разделительную канавку шириной d, заполненную оксидом кремния, а полученная матрица монокристаллического кремния между изолированными карманами используется в качестве экранирующего электрода, при этом расстояние между соседними разделительными канавками должно быть не менее 2d.
