Кремниевый конденсатор

190396

H01G2/00, H01L29/94, H01L29/66

Заявка: 2018147372, 27.12.2018

Опубликовано: 1.7.2019. Бюл. № 19

Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, М.Ю. Котова, В.И. Пугачев, А.Ю. Фроликова

Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

КРЕМНИЕВЫЙ КОНДЕНСАТОР

Формула полезной модели

Кремниевый конденсатор, состоящий из первой обкладки, изготовленной из кремниевой пластины, на рабочей поверхности которой протравлены колодцы, и поверхность пластины залегирована n-примесью и нанесен слой диэлектрика, и второй обкладки, которой является слой легированного n-примесью поликремния, нанесенный на рабочую поверхность, отличающийся тем, что в качестве легирующей примеси n-типа используется мышьяк,  он обеспечивает среднюю проводимость  , где ρ_s - поверхностное сопротивление кремния, легированного мышьяком, x_j - глубина легирования.