195783
H01L29/02, H01L27/10, H01L29/41
Заявка: 2019136461, 12.11.2019
Опубликовано: 5.2.2020. Бюл. № 4
Авторы: Н.А. Брюхно, М.Ю. Котова, О.В. Макарцева
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
КРЕМНИЕВЫЙ КОНДЕНСАТОР
Формула полезной модели
Кремниевый конденсатор, содержащий кремниевую подложку, слой, изолирующий подложку, первый электрод, изолирующий слой конденсатора, второй электрод, контактные площадки электродов, линию разделения конденсаторов на отдельные кристаллы и защитный элемент, изолирующий линию разделения от контактных площадок электродов, отличающийся тем, что защитный элемент, изолирующий линию разделения, выполнен в виде канавки в подложке глубиной 5≤h≤30 мкм.
