199130
H01L21/48
Заявка: 2020110986, 16.3.2020
Опубликовано: 17.8.2020. Бюл. № 23
Авторы: Н.А. Брюхно, А.Ю. Дракин, М.Ю. Котова
Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
МАСКА ДЛЯ ДЕКОРПУСИРОВАНИЯ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В ПОЛИМЕРНОМ КОРПУСЕ
Формула полезной модели
Маска для декорпусирования устройств микроэлектроники в полимерном корпусе, состоящая из пластины кислотостойкой резины с отверстием под область вскрытия изделий микроэлектроники, отличающаяся тем, что маска имеет дополнительную пластину из кислотостойкой резины без отверстия, закрывающую обратную и боковые стороны полупроводниковых приборов и микросхем.