Маска для декорпусирования устройств микроэлектроники в полимерном корпусе

199130

H01L21/48

Заявка: 2020110986, 16.3.2020

Опубликовано: 17.8.2020. Бюл. № 23

Авторы: Н.А. Брюхно, А.Ю. Дракин, М.Ю. Котова

Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

МАСКА ДЛЯ ДЕКОРПУСИРОВАНИЯ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В ПОЛИМЕРНОМ КОРПУСЕ

Формула полезной модели

Маска для декорпусирования устройств микроэлектроники в полимерном корпусе, состоящая из пластины кислотостойкой резины с отверстием под область вскрытия изделий микроэлектроники, отличающаяся тем, что маска имеет дополнительную пластину из кислотостойкой резины без отверстия, закрывающую обратную и боковые стороны полупроводниковых приборов и микросхем.