198723
H01L21/266
Заявка: 2020114051, 3.4.2020
Опубликовано: 23.7.2020. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, С.Б. Рыбалка
Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
МАСКА ДЛЯ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ В ПЛАСТИНЫ КАРБИДА КРЕМНИЯ АЛЮМИНИЕМ
Формула полезной модели
Маска для ионного легирования в пластины карбида кремния алюминием, состоящая из маскирующего слоя неорганического материала на поверхности карбида кремния и сформированных в этом слое участков для легирования алюминием, отличающаяся тем, что маскирующий слой выполнен из слоя алюминия на слое двуокиси кремния толщиной 0,03-0,08 мкм, примыкающего к карбиду кремния.
