198647
H01L29/00
Заявка: 2020114108, 3.4.2020
Опубликовано: 21.7.2020. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Куфтов, Е.А. Чирков
Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
МАСКА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПОЛИИМИДНЫХ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Формула полезной модели
Маска для травления полиимидных защитных покрытий полупроводниковых приборов с алюминиевой металлизацией, состоящая из маскирующего материала на поверхности полиимидного покрытия и сформированных в маскирующем слое участков для травления, отличающаяся тем, что маскирующий слой выполнен из слоя алюминия толщиной 0,20-0,30 мкм.
