147587
H01L21/00
Заявка: 2014121537/28, 27.5.2014
Опубликовано: 10.11.2014. Бюл. № 31
Авторы: В.В. Афанаскин, Н.А. Брюхно, В.И. Громов, В.И. Пугачев, Ю.Н. Севастьянов, С.П. Сулаков
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Маска для травления тонких слоев платины методом физического распыления
МАСКА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ПЛАТИНЫ МЕТОДОМ ФИЗИЧЕСКОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Формула полезной модели
Маска для травления тонких слоев платины методом физического распыления, состоящая из верхнего маскирующего металлического слоя и нижнего диэлектрического маскирующих слоя, нанесенных на слой платины, отличающаяся тем, что верхний маскирующий слой состоит из титана толщиной 0,1 - 0,2 мкм, а в нижнем слое из нитрида кремния толщиной 0,1 -0,25 мкм вытравлен рисунок, повторяющий верхний маскирующий слой.
