Планарный кремниевый P-N-P транзистор

195547

H01L21/322

Заявка: 2019136576, 13.11.2019

Опубликовано: 31.1.2020. Бюл. № 4

Авторы: Н.А. Брюхно, А.Н. Гаврилин, И.В. Куфтов

Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

ПЛАНАРНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ P-N-P ТРАНЗИСТОР

Формула полезной модели

Планарный кремниевый р-n-р транзистор, состоящий из подложки, коллекторного эпитаксиального слоя, планарных переходов базы и эмиттера, области подлегирования базы, контактных окон к этим переходам и геттерирующего слоя, отличающийся тем, что геттерирующий слой в контактом окне эмиттера выполнен в виде квадратных участков, расположенных в шахматном порядке с шагом 3 мкм<А<4 мкм.