Полезная модель 152645

152645

H01L21/00

Заявка: 2014148447/28, 1.12.2014

Опубликовано: 10.6.2015.  Бюл. № 16

Авторы: Е.В. Абашин, С.В. Борисенков, Н.А. Брюхно, О.А. Жилина, М.В. Степанов, Е.А. Чирков

Патентообладатель: ЗАО «ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ»

Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин

КАССЕТА ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Формула полезной модели

Кассета для односторонней обработки полупроводниковых пластин с мультиплицированным слоем, состоящая из основания с полостью, выравнивающей давление трубкой, нескольких гибких герметизирующих колец, крышки с отверстием под рабочую поверхность обрабатываемой пластины, отличающаяся тем, что на крышке дополнительно закреплена J-образная трубка, изогнутая часть которой повторяет по форме половину отверстия под рабочую поверхность, заглушенная на конце и закрепленная на нижней половине крышки, причем в изогнутой части трубки выполнены отверстия, направленные на ближайшую сторону пластины, с шагом, не превышающим шаг мультипликации слоя пластины, а ровная часть этой трубки имеет не меньшую длину, чем трубка, выравнивающая давление.