155810
H041G4/00
Заявка: 2015111037/07, 26.3.2015
Опубликовано: 20.10.2015. Бюл. № 2
Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, О.М. Головко, А.А. Калинин, Ю.Н. Севастьянов, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Планарный высокочастотный конденсатор
ПЛАНАРНЫЙ ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ КОНДЕНСАТОР
Формула полезной модели
Планарный высокочастотный конденсатор, содержащий кремниевую сильнолегированную подложку с рабочей поверхностью в качестве обкладки конденсатора, изолирующий слой нитрида кремния поверх этой обкладки, другую обкладку конденсатора из благородного металла, отличающийся тем, что на рабочей поверхности кремния расположена полоса из слоя оксида кремния, центр которой идет по периметру обкладки из благородного металла, ближайшей к кремниевой подложке, ширина полосы оксида кремния составляет 10÷25 мкм, толщина оксида кремния - 0,02÷0,1 мкм, а изолирующий слой нитрида кремния покрывает нанесенный слой оксида кремния.
