Полезная модель 156622

156622

H01L21/66

Заявка: 201530183/28, 21.7.2015

Опубликовано: 10.11.2015. Бюл. № 31

Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова

Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

Тестовая ячейка для контроля качества изготовления диодов Шоттки

ТЕСТОВАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИОДОВ ШОТТКИ

Формула полезной модели

Тестовая ячейка для контроля качества изготовления диодов Шоттки, состоящая из рабочего диода Шоттки, сформированного на эпитаксиальной структуре одного типа проводимости и содержащего охранное кольцо другого типа проводимости, внутри которого сформированы блокирующие p-n переходы того же типа проводимости, что и охранное кольцо, и контакт Шоттки, отличающаяся тем, что тестовая ячейка содержит первый дополнительный диод Шоттки такой же конструкции, как и рабочий, площадь которого в 4 раза больше или меньше, чем площадь рабочего диода, а периметр соответственно в 2 раза больше или меньше, чем периметр рабочего диода, и второй дополнительный диод Шоттки такого же размера, как и рабочий,но выполненный без блокирующих p-n переходов