156624
H01L29/41
Заявка: 2015125228/28, 25.6.2015
Опубликовано: 10.11.2015. Бюл. № 31
Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, И.В. Куфтов, Е.В.Мироненко, Ю.Н. Севастьянов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Мощный высоковольтный карбидкремниевый прибор
МОЩНЫЙ ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ КАРБИДКРЕМНИЕВЫЙ ПРИБОР
Формула полезной модели
Мощный высоковольтный карбидкремниевый прибор, содержащий кристалл, состоящий из сильнолегированной подложки и рабочего эпитаксиального слоя того же типа проводимости, что и подложка, планарный р-n переход, сформированный в эпитаксиальном слое, металлизацию к области р-n перехода, защитный органический диэлектрический слой типа полиимида, перекрывающий рабочий эпитаксиальный слой и металлизацию, со сформированными в нем окнами под контактные площадки к металлизации и линии разделения на кристаллы, отличающийся тем, что периферия металлизации имеет форму ступенек высотой 1,5-2,5 мкм и длиной L, рассчитанной исходя из соотношения h
L
2h, где h - толщина полиимида.
