145241
H01L21/00
Заявка: 2014121562/28, 27.5.2014
Опубликовано: 10.9.2014. Бюл. № 25
Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, П.А. Иванов, Н.И. Михеев, Ю.Н. Севастьянов, М.В. Степанов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кассета для постимплантационного отжига слоев карбида кремния
КАССЕТА ДЛЯ ПОСТИМПЛАНТАЦИОННОГО ОТЖИГА СЛОЕВ КАРБИДА КРЕМНИЯ
Формула полезной модели
Кассета для отжига и активации ионно-легированных слоев карбидкремниевых пластин, состоящая из графитового основания с полостью под пластину, размеры которой больше, чем размеры пластины, и графитовой крышкой с выступом, совместимым с основанием, и закрывающей рабочую поверхность пластины, отличающаяся тем, что крышка выполнена в виде выемки на дне полости под пластину глубиной h, равной х
