Формула полезной модели
Предметный столик для удержания рабочих полупроводниковых пластин с кристаллами, состоящий из предметного столика с углублениями в основании и с отверстием для подачи вакуума, между основанием и полупроводниковой пластиной с кристаллами дополнительно расположена плоская пластина, покрывающая все углубления на рабочей поверхности основания и содержащая семейство сквозных отверстий по форме, соответствующей форме кристалла, а их линейные размеры которых меньше, чем размеры кристалла на величину А, определяемую из выражения 0,3hi≤A≤0,2Ai, где hi - толщина кристалла, Ai - наибольший размер кристалла.
