218310
H01L21/02
Заявка: 2022132517, 12.12.2022
Опубликовано: 22.5.2023. Бюл. № 15
Авторы: Ю.В. Атаманенко, Н.А. Брюхно, М.В. Кильчицкая, Е.Ю. Нароленко
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
СЕМЕЙСТВО ИНДИКАТОРНЫХ МЕТОК ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В ИЗОЛИРОВАННЫХ КАРМАНАХ МИКРОСХЕМ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ
Семейство индикаторных меток для контроля толщины монокристаллического кремния в изолированных карманах интегральных микросхем с диэлектрической изоляцией, состоящее из углублений различной ширины и соответственно глубины от наименьшей до наибольшей допустимых толщин монокристаллического кремния, вытравленных в кремнии путем анизотропного травления в газовой фазе при пониженном давлении, слоя окисла на поверхности рельефа и заполняющего рельеф слоя поликремния, отличающееся тем, что каждая метка семейства окружена вертикальной канавкой в виде ограничительной рамки, ширина которой совпадает с шириной наиболее широкой метки для контроля толщины монокристаллического кремния.
