2787710
H01L27/00
Заявка: 2022119055, 12.7.2022
Опубликовано: 11.1.2023. Бюл. № 2
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Герасимов, А.Ю. Герасимова, М.В. Кильчитская
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
СПОСОБ ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ КРИСТАЛЛОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Областью применения предлагаемого изобретения является производство интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, изготавливаемых методом литографии. Технический результат предлагаемого изобретения - повышение достоверности визуального контроля и производительности труда. Указанный технический результат достигается тем, что в отличие от известных способов визуального контроля кристаллов интегральных микросхем, заключающихся в ориентации кристаллов рабочей поверхностью вверх, осмотре под металлургическим стереомикроскопом в светлом и темном поле внешнего вида кристаллов по критериям внешнего вида, отбраковке кристаллов, не соответствующих критериям внешнего вида, в предлагаемом способе кристаллы предварительно ориентируют таким образом, чтобы длинная ось кристалла была параллельна линии, соединяющей центры окуляров металлургического стереомикроскопа, а изображения области кристалла с наименьшими размерами и наибольшей плотностью элементов находились справа внизу от оператора. 5 ил.
