159103
H01L21/66
Заявка: 2015138328/28, 8.9.2015
Опубликовано: 27.1.2016. Бюл. № 3
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Тестовая ячейка для контроля качества двухуровневой металлизации
ТЕСТОВАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ДВУХУРОВНЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ
Формула полезной модели
Тестовая ячейка для контроля качества двухуровневой металлизации, верхний уровень которой наносится электрохимическим методом, включающая в себя резистивные элементы из первого уровня металлизации, диэлектрический слой, изолирующий первый уровень металлизации, с контактными окнами к резистивным элементам первого уровня металлизации, перемычки между резистивными элементами первого уровня металлизации, состоящие из адгезионно-барьерного слоя, затравочного слоя и второго слоя металлизации, и контактные площадки, отличающаяся тем, что тестовая ячейка содержит первый дополнительный тестовый элемент, перемычки между резистивными элементами первого уровня металлизации и контактные площадки которого выполнены дополнительно в адгезионно-барьерном и затравочном слоях, и второй дополнительный тестовый элемент в виде проводящей змейки с контактными площадками, выполненной в адгезионно-барьерном и затравочном слоях второго уровня металлизации и проходящей по рельефу максимальной высоты, образованному первым уровнем металлизации и контактными окнами в диэлектрическом слое.
