175042
H01L21/66
Заявка: 2017121753, 20.6.2017
Опубликовано: 16.11.2017. Бюл. № 32
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ"
Тестовый элемент для контроля качества анизотропного травления канавок
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оперативного контроля качества анизотропного травления канавок в полупроводнике, содержащий полупроводниковую пластину, сформированный на ней рельеф из вытравленных канавок, состоящий из ряда тестовых канавок от минимального по ширине размера до максимального, отличающийся тем, что в тестовом элементе дополнительно сформирована смотровая канавка, идущая перпендикулярно ряду тестовых канавок, причем ширину смотровой канавки W выбирают из расчета h≤W≤2h, где h - максимальная глубина травления канавок.
