Тестовый элемент для контроля качества изготовления высоковольтных карбидокремниевых диодов Шоттки

196936

G01R31/26

Заявка: 2019141916, 13.12.2019

Опубликовано: 23.3.2020. Бюл. № 9

Авторы: Н.А. Брюхно, А.А. Демидов, И.В. Куфтов

Патентообладатель: Акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"

ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КАРБИДОКРЕМНИЕВЫХ ДИОДОВ ШОТТКИ

Формула полезной модели

Тестовый элемент для контроля качества высоковольтных карбидокремниевых диодов Шоттки, состоящих из сформированных на эпитаксиальной структуре одного типа проводимости планарного рабочего перехода и делительных колец другого типа проводимости, отличающийся тем, что тестовый элемент выполнен в виде структуры латерального транзистора с зазором между планарным рабочим переходом (коллектором) и эмиттером, равным расстоянию между делительными кольцами тестируемого диода Шоттки.