215932
H01L21/66
Заявка: 2022107670, 22.3.2022
Опубликовано: 11.1.2023. Бюл. № 2
Авторы: Н.А. Брюхно, К.А. Герасимов
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА КОЛОДЦЕВ
Тестовый элемент для контроля качества формообразования и травления колодцев в монокристаллических материалах, диэлектриках и проводниках, причем колодцы сформированы рядами на монокристаллической полупроводниковой пластине, отличающийся тем, что ряды расположены перпендикулярно направлению легкого разлома монокристалла, причем ряды образованы колодцами, равными по размеру и шагу минимальному топологическому размеру колодцев на микросхеме, и в каждом последующем ряду колодцы смещены от колодцев предыдущего ряда, а количество рядов колодцев равно большему целому числу, определяемому из соотношения А/na, где а - диаметр колодца, А - шаг расположения колодцев, n - точность попадания разлома на центр колодцев, равная отношению размера смещения рядов к размеру контролируемых колодцев.
