188356
H01L21/02, H01L21/66
Заявка: 2019100738, 10.1.2019
Опубликовано: 9.4.2019. Бюл. № 10
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛАНАРИЗАЦИИ
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оперативного контроля качества планаризации, содержащий полупроводниковую пластину, емкость, нижняя обкладка которой выполнена в виде решетки проводящих шин, а верхняя - в виде участка сплошного металла, отличающийся тем, что нижняя обкладка выполнена в виде решетки из правильных восьмиугольников с проводящими шинами минимального по ширине размера и расстоянием между противоположными сторонами восьмиугольника К, выбираемым из формулы: 10а≤К≤15а, где а - минимальная по ширине проводящая шина.
