164734
G01R 27/00
Заявка: 2016109361/28, 15.3.2016
Опубликовано: 10.9.2016. Бюл. № 25
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Тестовый элемент для оценки качества диэлектрика
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ДИЭЛЕКТРИКА
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оценки качества диэлектрика, содержащий полупроводниковую пластину со слоем изолятора, слой исследуемого диэлектрика, нанесенного поверх металлических гребнеобразных электродов, два гребнеобразных металлических электрода, зубцы одного из которых входят во впадины другого, защитное экранирующее проводящее кольцо вокруг одного из электродов с рабочей стороны диэлектрика, контактные площадки к электродам и защитному экранирующему кольцу, отличающийся тем, что в качестве защитного экранирующего кольца используется один из гребнеобразных электродов, полностью охватывающий другой гребнеобразный электрод.
