182547
H01L21/66
Заявка: 2018104587, 6.2.2018
Опубликовано: 22.8.2018. Бюл. № 24
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Тестовый элемент для оперативного контроля качества планаризации
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛАНАРИЗАЦИИ
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оперативного контроля качества планаризации, содержащий полупроводниковую пластину, сформированный на ней рельеф из проводящих шин, состоящий из ряда увеличенных по ширине выступов с минимальным зазором, и планаризующий слой изолирующего диэлектрика, отличающийся тем, что ширину выступов выбирают из формулы 50мкм≤К≤Dmax, где Dmax - максимальная ширина шин металлизации, используемой в интегральной схеме, для которой проводится контроль планаризующего диэлектрика.
