218140
H05K 13/08, H01L 21/28
Заявка: 2022129543, 14.11.2022
Опубликовано: 12.5.2023. Бюл. № 14
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Куфтов, М.Ю. Шикун
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛАНАРИЗАЦИИ
Тестовый элемент для улучшения контроля качества планаризации слоя изолирующего диэлектрика, который содержит полупроводниковую пластину, сформированный на ней рельеф из проводящих шин, состоящий из ряда выступов минимального по ширине размера, расположенных с минимальным зазором, ряда выступов минимального по ширине размера, расположенных с увеличенным зазором, и планаризующий слой изолирующего диэлектрика, отличающийся тем, что ширина увеличенного зазора равна двум толщинам планаризирующего слоя изолирующего диэлектрика, нанесенного поверх проводящих шин и имеющего толщину не менее толщины проводящих шин, при этом планаризирующий слой изолирующего диэлектрика имеет рельеф со впадинами над всеми зазорами между рядами выступов в тестовом элементе.
