145240
H01L21/00
Заявка: 2014121558/28, 27.5.2014
Опубликовано: 10.9.2014. Бюл. № 25
Авторы: Н.А. Брюхно, В.И. Громов, Ю.Н. Севастьянов, А.Ю. Фроликова, Е.А. Чирков
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Тонкопленочный платиновый резистор
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ПЛАТИНОВЫЙ РЕЗИСТОР
Формула полезной модели
Тонкопленочный платиновый резистор, состоящий из тела одного или нескольких резисторов и уширенных шин для подключения гибких выводов на поверхности подложки из оксидов или нитридов, отличающийся тем, что в платиновой пленке шин сформированы отверстия с размером не менее 2-х толщин пленки и не более 7 мкм, причем отверстия расположены рядами в шахматном порядке, а расстояние между отверстием и краем шин и между рядами отверстий составляет не более 40 мкм, а расстояние между отверстиями внутри ряда - не более 50 мкм.
