172838
G01R1/073, H01L21/66
Заявка: 2017107361, 6.3.2017
Опубликовано: 26.7.2017. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, А.Н. Гаврилин, И.В. Куфтов, М.В. Степанов, А.А. Малаханов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Устройство для зондового контроля параметров кристаллов высоковольтных приборов
Формула полезной модели
Устройство для зондового контроля параметров кристаллов высоковольтных приборов, состоящее из генератора тока, генератора напряжения, потенциального зонда и токовых зондов из расчета один зонд на каждые 0,5 А, распределенных по окружности, отличающееся тем, что дополнительно введен коммутатор, переключающий токовые зонды от генератора тока к генератору напряжения.
