175327
G01N27/00
Заявка: 2017119721, 5.6.2017
Опубликовано: 30.11.2017. Бюл. № 34
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Куфтов, А.А. Малаханов
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Устройство для зондового контроля высоковольтных кристаллов на пластине
Формула полезной модели
Устройство для зондового контроля высоковольтных кристаллов на пластине, состоящее из зондов для подачи напряжения, столика для фиксации пластины, прозрачного стакана со штуцером для подачи газа и подвижной боковой стенки, отличающееся тем, что боковая стенка окружает всю пластину, а в качестве газа используется гексафторид серы при атмосферном давлении.
