187908
H01L23/48
Заявка: 2018146672, 25.12.2018
Опубликовано: 21.3.2019. Бюл. № 9
Авторы: Е.В. Абашин, Н.А. Брюхно, А.Ю. Фроликова, Е.А. Чирков
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ЗАТРАВОЧНЫЙ СЛОЙ МЕДНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Формула полезной модели
Затравочный слой медной металлизации, состоящий из адгезионного слоя, затравочного слоя из меди, отличающийся тем, что затравочный слой меди дополнительно покрыт защитным слоем из ванадия толщиной 10-20 нм.
