160377
H01L21/302
Заявка: 2015142314/28, 5.10.2015
Опубликовано: 20.3.2016. Бюл. № 8
Авторы: Н.А. Брюхно, И.С. Симукова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Компенсаторы для анизотропного травления дорожек разделения полупроводниковых пластин
КОМПЕНСАТОРЫ ДЛЯ АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ ДОРОЖЕК РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН
Формула полезной модели
Компенсатор для анизотропного травления дорожек разделения кремниевых полупроводниковых пластин ориентации (100) на кристаллы полупроводниковых приборов, образованный четырьмя консолями, ориентированными вдоль семейства направлений <110>, одна из сторон которых является продолжением соответствующей маски кристалла, отличающийся тем, что длина консолей компенсатора равна ширине дорожек разделения, а ширина компенсатора выбрана из соотношения 3d ≤ D ≤ 5d, где d - боковой подтрав при травлении самого глубокого элемента кристалла полупроводникового прибора.
