206227
H01G 2/00, H01L 29/02
Заявка: 2021106222, 10.3.2021
Опубликовано: 1.9.2021. Бюл. № 25
Автор: Н.А. Брюхно
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кремниевый 3D конденсатор
Формула полезной модели
Кремниевый 3D конденсатор преимущественно для использования в фильтрах интегральных микросхем, состоящий из первой обкладки, изготовленной из кремниевой пластины, на рабочей стороне которой расположены протравленные колодцы, поверхность которых легирована n-примесью и на рабочую сторону нанесен слой диэлектрика, и второй легированной обкладки с нанесенными контактными слоями, отличающийся тем, что вторая обкладка выполнена из поликристаллического кремния, легированного бором с p-типа проводимостью.
