205633
H01L29/02, H01G2/00
Заявка: 2021106784, 15/3/2021
Опубликовано: 23.7.2021. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, М.Ю. Котова
Патентообладатель: АО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Кремниевый конденсатор
Формула полезной модели
Кремниевый конденсатор, состоящий из пластины на основе кремния, в рабочей стороне которой сформирован массив колодцев, их поверхность покрыта слоем диэлектрика и участками сильнолегированного поликремния, слоем металлизации с выводами верхней и нижней обкладки, отличающийся тем, что массив колодцев сформирован в изолированном кармане кремниевой пластины с диэлектрической изоляцией глубиной d в интервале h+2σ≤d≤h+5σ, где h - глубина колодца, σ - точность вскрытия.
