153623
H01L21/027
Заявка: 2014148445/28, 1.12.2014
Опубликовано: 27.7.2015. Бюл. № 21
Авторы: Н.А. Брюхно, А.А. Калинин, С.П. Сулаков, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Фотошаблон для обработки пластин
ФОТОШАБЛОН ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН
Формула полезной модели
Фотошаблон для обработки пластин, состоящий из прозрачной плоской пластины и светонепроницаемого покрытия с полем рабочих модулей, полученных методом мультипликации, отличающийся тем, что поле рабочих модулей вписано в фигуру, повторяющую пластину, с зазором не менее 5 толщин пластины от краев пластины, а вокруг рабочего поля сформированы во взаимоперпендикулярных направлениях по паре вспомогательных полос модулей, прозрачность которых противоположна прозрачности основного поля рабочего модуля, а расстояние между полосами в паре соответствует размеру пластины в этом направлении.
