2308786
H01L21/3063
Заявка: 2006118215/28; 26.05.2006
Опубликовано: 20.10. 2007. Бюл. № 29.
Автор: Голубчик Евгений Маркович
Патентообладатель: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Брянская государственная инженерно-технологическая академия"
РАСТВОР ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО РАСТВОРЕНИЯ КРЕМНИЯ
Изобретение относится к электронной промышленности, а именно к технологии обработки полупроводниковых материалов, и может быть использовано при обработке полупроводниковых пластин кремния. Сущность изобретения: раствор для электрохимического растворения кремния содержит хлорид аммония, а в качестве растворителя - мочевину при следующем соотношении компонентов, мас.%: хлорид аммония 7-10; мочевина 90-93. Изобретение позволяет управлять скоростью травления кремния при выходе по току, близкому к 100%, и исключить из раствора экологически вредные вещества.
