181107
H01L21/66
Заявка: 2018110224, 22.3.2018
Опубликовано: 4.7.2018. Бюл. № 19
Авторы: Н.А. Брюхно, В.В. Стрекалова, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ТЕСТОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛАНАРИЗАЦИИ
Формула полезной модели
Тестовый элемент для оперативного контроля качества планаризации, содержащий полупроводниковую пластину, емкость, нижняя обкладка которой выполнена в виде решетки, а верхняя - в виде участка сплошного металла, отличающийся тем, что нижняя обкладка выполнена в виде решетки квадратов со сторонами 50-100 мкм, расположенных с зазором 3-5 мкм и соединенных между собой перемычками шириной 5-15 мкм.
